1D MARK III的CMOS单一像素面积要比1D MARK II N小25%，面积仅有7.2μm，和1DS MARK II一样，下图是1D MARK III与和佳能其他数码单反的像素面积的比较。
由于1D MARK III达到了千万像素，因此，在同样的APS-H尺寸面积下就需要更小的像素面积，但其实缩小的只是感光区域之间间距，而感光区域是没有变化的。我们都知道，由于缩小了感光区域之间的距离，也就是说在相同的面积上设计更多的像素，像素之间会有聚光时产生暗电流影响出现噪点。1D MARK III虽然拉近了像素间距，但由于使用了优化的光敏半导体，并使用了优化后了微聚光透镜，可以保证聚光的准确性，减少单一像素间聚光的影响，从而减少噪点的出现。
从此图可以看出1D MARK III上使用的新CMOS与1D MARK II N上的CMOS的设计区别。
此图是1D MARK III的CMOS与具有更大CMOS面积的全画幅的1DS MARK II的对比，可以看出同样像素面积、不同感光元件面积之间的光线输入状态。
为了实现更高速的连续拍摄，并在存储和传输中达到最快速度，1D MARK III同样采用了八通道读取。
下面来看一下感光元件结构。新的感光元件一共有六层组成，从里到外有CMOS、垂直偏转低通滤镜、移向层、水平偏转低通滤镜、红外吸光滤镜、分色镜。红外吸光滤镜可以有效的减少红外线和紫外线对CMOS感光的影响。采用垂直和水平两片偏转低通滤镜，结合移向层组成的低通滤镜层，可以有效的避免摩尔纹的产生。
在高光宽容度上，1D MARK III有一个高光宽容度优先功能，在ISO为200-3200时，打开该功能后，会对有高光溢出的地方进行细节的弥补。
增加小尺寸RAW格式，画质高、容量小
在1D MARK III之前，佳能数码单反所支持的RAW格式，全部都是使用最大尺寸存储，这样存储的RAW格式能够保证更多的细节，便于出片。但是大部分用户并不需要那么大尺寸的RAW文件，更多时候，处理大尺寸文件是对电脑的一种考验。因此，1D MARK III上出现了新的RAW格式——sRAW。
sRAW是将一个像素相近的像素结合成一个像素，画面尺寸约为最大尺寸的1/4。通过下图的比较，我们就可以看出1D MARK III支持的各个格式的画面尺寸。
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